主要股东变动（临时报告书）
由发行公司自行申报主要股东变动的临时报告书，与持股方提交的大量持有报告书是两种不同的披露。
已识别持有人
4
有效披露
8
最近显示的持有比例
2.22%
持股比例趋势
按持有人展示比例变化，按最新比例排序（前 4 名）。
51.0%
0.0pt
2.22%
-2.9pt
0.0%
-1.99pt
持有变化时间线
已被更正替代的旧报告会被排除，并按经济事项日期从新到旧显示。
りそなアセットマネジメント株式会社法人（株式会社）
投資信託、投資一任契約に基づく運用を目的として保有するもの
株券等保有割合が１％以上減少したことアリアンツ・グローバル・インベスターズ・ジャパン株式会社法人（株式会社）
ポートフォリオ投資
株券等保有割合が1%以上減少したこと、共同保有者が減少したこと及び単体株券等保有割合が1%以上減少したこと。ポートフォリオ投資
株券等保有割合が1%以上減少したこと、共同保有者が減少したこと及び単体株券等保有割合が1%以上減少したこと。りそなアセットマネジメント株式会社法人（株式会社）
投資信託、投資一任契約に基づく運用を目的として保有するもの
ポートフォリオ投資
株券等保有割合が1%以上減少したこと。アリアンツ・グローバル・インベスターズ・ジャパン株式会社法人（株式会社）
ポートフォリオ投資
株券等保有割合が1%以上減少したこと。株式会社エー・アンド・デイ法人（株式会社）
発行者を提出者の連結子会社とすることによって、発行者と提出者の強みを活かした協業体制を確立し、両社の半導体製造装置関連事業の拡大・発展を目指すため（発行者及び提出者の間で締結した平成30年５月11日資本業務提携契約に基づいて、提出者が発行者に対して役員の派遣等を行うことを含みます。）。
保有株券等に関する重要な契約の締結アリアンツ・グローバル・インベスターズ・ジャパン株式会社法人（株式会社）
ポートフォリオ投資
株券等保有割合が1%以上増加したこと及び単体株券等保有割合が1%以上増加したこと。ポートフォリオ投資
株券等保有割合が1%以上増加したこと及び単体株券等保有割合が1%以上増加したこと。アリアンツ・グローバル・インベスターズ・ジャパン株式会社法人（株式会社）
ポートフォリオ投資
株券等保有割合が1%以上増加したこと及び単体株券等保有割合が1%以上増加したこと。ポートフォリオ投資
株券等保有割合が1%以上増加したこと及び単体株券等保有割合が1%以上増加したこと。ポートフォリオ投資
アリアンツ・グローバル・インベスターズ・ジャパン株式会社法人（株式会社）
ポートフォリオ投資